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平台控制系统


微纳米级的精密定位控制系统

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  1、微纳米级的精密定位控制系统

  2、高速高响应,极小的跟随误差

  3、激光与轴的控制精确同步( PSO)

  4、振镜与轴联动,无限视野(IFOV),无拼接误差


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